Carbon nitride and carbon fluoride thin films prepared by HiPIMS

Författare
Linköpings universitet Susann Schmidt
(Susann Schmidt., Härtill 6 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2013, Med populärvetenskaplig sammanfattning på svenska)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linköping University 2013 Sverige, Linköping xvii, 82 sidor. ill. 978-91-7519-642-8